АЛГОРИТМЫ ПОДСТРОЙКИ МОДЕЛЕЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ДЛЯ ОБЕСПЕЧЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ КАЧЕСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Dmitriy Vladimirovich Saleev


Аннотация


В статье рассматривается вопрос создания подсистемы оптимизации технологического процесса производства интегральных схем. Приводятся основные требования, предъявляемые к системам оптимизации, анализируются существующие методы и модели для обеспечения необходимых параметров качества производимых микросхем. Разрабатывается функциональная схема блока подстройки математических моделей технологической системы производства интегральных схем, предлагается алгоритм адаптивного управления технологическим процессом производства микросхем, рассматриваются варианты формирования математических моделей для новых партий интегральных схем при условиях недостаточности статистических данных.

Ключевые слова


АДАПТИВНОЕ УПРАВЛЕНИЕ; ПОДСТРОЙКА МОДЕЛИ; ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ; ОПТИМИЗАЦИЯ; АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ; ПРОИЗВОДСТВО; АЛГОРИТМ

Литература


Граничин О.Н. Введение в методы стохастической оптимизации и оценивания: учебное пособие. СПб: Изд-во Санкт-Петербургского университета, 2003. 131 с.

Дорошевич К.К., Попов В.Н., Стрижков С.А. Методика статистического контроля технологических процессов изготовления интегральных микросхем для партий малого объема при прерывистом производстве//Микроэлектроника. 2002. № 2. С. 152-160.

Коледов Л.А. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок. СПб.: Лань, 2007. 400 с.

Маклафлин Б. Объектно-ориентированный анализ и проектирование. СПб.: Питер, 2013. 608 с.

Моделирование систем/Дворецкий С.И., Муромцев Ю.Л., Погонин В.А., Схиртладзе А.Г. М.: Академия, 2009. 320 с.

Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. М.: Радио и связь, 1988. 320 с.

Салеев Д.В. Алгоритм управления качеством технологического процесса производства интегральных микросхем//Вестник воронежского института высоких технологий. 2012. №10. С. 33-37.

Салеев Д.В. Контроль качества и оценка надежности интегральных схем/Д.В. Салеев//Вестник воронежского института высоких технологий. 2012. № 9. С. 20-24.

Черноруцкий И.Г. Методы оптимизации. Компьютерные технологии. СПб.: БХВ-Петербург, 2011. 384 с.

Эйкхофф П. Основы идентификации систем управления. Оценивание параметров и состояния. М.: Мир, 1975. 681 с.




DOI: https://doi.org/10.12731/wsd-2014-6.1-15

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.


Bookmark and Share


(c) 2016 В мире научных открытий



ISSN 2658-6649 (print)

ISSN 2658-6657 (online)

HotLog Яндекс цитирования