Исследование возможности межоперационного хранения полированных оптических деталей, изготовленных из стекла ТК21, методом эллипсометрии

D. Yu. Kruchinin, E. P. Farafontova, A. A. Karmanovich


Ключевые слова


эллипсометрия; оптическое стекло; контроль качества поверхности оптических деталей; сроки межоперационного хранения полированных поверхностей

Литература


Аззам Р. Эллипсометрия и поляризованный свет [Текст] / Р. Аззам, Н. Башара. М.: МИР, 1981. 578 с.

ГОСТ 13659-78. Стекло оптическое бесцветное. Физико-химические характеристики. Основные параметры; введ. 1980-01-01. М.: МПК Изд-во стандартов, 1978. 27 с.

Пат. 2370799 Российская Федерация, МПК G02B027/00. Способ изготовления прецизионных оптических шкал обратной фотолитографией: Кручинин Д.Ю.; заявитель и патентообладатель ФГУП «Производственное объединение “Уральский оптико-механический завод” имени Э.С. Яламова” (ФГУП “ПО УОМЗ”). № 2008110272/28; заявл. 17.03.2008; опубл. 20.10.2009, Бюл. № 29. 8 с.: ил.

Пат. 2430391 Российская Федерация, МПК G02B027/32, G03F7/004. Способ изготовления прецизионных оптических шкал методом фотолитографии с запуском (варианты): Кручинин Д.Ю.; заявитель и патентообладатель ФГУП «Производственное объединение “Уральский оптико-механический завод” имени Э.С. Яламова” (ФГУП “ПО УОМЗ”). № 2010107364/28; заявл. 27.02.2010 ; опубл. 27.09.2011, Бюл. № 27. 9 с.: ил.

Пат. 2454379 Российская Федерация, МПК С03С2710. Способ склеивания оптических деталей: Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б.; заявитель и патентообладатель ОАО «Производственное объединение “Уральский оптико-механический завод” имени Э.С. Яламова” (ОАО “ПО УОМЗ”). № 2011106067/03; заявл. 17.02.2011; опубл. 27.06.2012, Бюл. № 18. 5 с. : ил.

Кручинин Д.Ю. Склеивание оптических деталей, имеющих нулевые классы чистоты полированных поверхностей [Текст] / Д.Ю. Кручинин, О.Б. Яковлев, М.П. Андронов // Оптический журнал. 2011. 78. 4. С. 73–75.

ОСТ 3-3312-76. Шкалы и сетки в изделиях оптико-механической промышленности. Основные параметры и обозначения. Введ. 1977-07-01. М.: Изд-во стандартов, 1977. 51 с.




DOI: https://doi.org/10.12731/wsd-2015-4.1-646-653

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.


Bookmark and Share


(c) 2016 В мире научных открытий



ISSN 2658-6649 (print)

ISSN 2658-6657 (online)

HotLog Яндекс цитирования