МИКРОСТРУКТУРНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПЛАТ ИЗ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ РАЗЛИЧНЫХ ПРОИЗВОДИТЕЛЕЙ

Аннотация

Данная статья представляет визуализацию зависимости качества поверхности пластин из нитрида алюминия от места ее производства и метода поверхностной обработки. Представленные изображения сканирования поверхности пластин, сделанные при помощи современных методик, на оборудовании позволяющем изучить структуру поверхности, показывают наиболее полную картину расположения и строения поверхностных дефектов пластин, в первую очередь обусловленных технологиями их изготовления. С другой стороны, данные исследований выявляют зависимости образования дефектов поверхности, таких как «вырывания зерен», конгломераты и краевые эффекты от методов механической и финишной обработки поверхности. Так же в статье выработаны, варианты дальнейшего использования пластин нитрида алюминия с различным качеством и параметрами чистоты поверхности и рекомендации к способам подготовки рабочей поверхности. Так, например, становится понятно, что некоторые типы пластин нитрида алюминия могут использоваться после обработки веществами различного типа, имеющими планаризирующее воздействие на поверхность.